长波红外光学薄膜器件研究

作     者：朱玲心 张麟 

作者机构：中科院上海技术物理研究所上海200083 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：1999年第21卷第4期

页      码：153-155页

摘      要：论述了长波红外滤光片制备中膜系设计、监控方案设计、工艺条件等主要技术。列举了允差分析在优选膜系、改善膜厚监控中的具体应用。并以长波红外重要高折射率材料碲化铅为例。

主 题 词：红外滤光片 光学薄膜 红外光学器件 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203125668...