一种新的微机械陀螺品质因数测试方法

作     者：徐淑静 高振宁 Xu Shujing;Gao Zhenning

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2011年第48卷第6期

页      码：391-394页

摘      要：传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题。提出了一种新的品质因数测量方法,该方法的原理是通过对陀螺的驱动端施加一个激励脉冲,采集驱动检测端的相应衰减信号,并通过处理得到衰减信号的频率和斜率,从而检测陀螺的品质因数。采用自行设计的激励电路,外购NI公司的高速采集卡和基于LabVIEW的处理程序测试了陀螺的品质因数。采用该方法可以使一只微机械陀螺的品质因数测试时间从原来的3~5min减少到20s左右,极大地提高了测试效率和测试精度。通过对不同品质因数的陀螺样品的测量,充分验证了此种方法的效果和正确性。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺 品质因数 数字采集卡 LabVIEW 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2011.06.008

馆 藏 号：203125668...