机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析

作     者：陈美琴 CHEN Meiqin

作者机构：闽西职业技术学院机械工程系福建龙岩364021 

出 版 物：《现代机械》 (Modern Machinery)

年 卷 期：2012年第6期

页      码：66-68页

摘      要：在微机电开关梁的设计过程中,对其吸合过程的响应时间的分析具有重要的意义。对静电力驱动的微开关梁的瞬态分析用于确定设计中的结构或机器部件的响应时间是必要的。运用ANSYS软件对微梁模型进行机电耦合分析,采用Trans126换能器单元的直接耦合静电—结构分析模型,分析了微梁的瞬态特性,得出微梁的吸合时间随着厚度的增大而增大。

主 题 词：微梁 机电耦合 Tran126 瞬态分析 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13667/j.cnki.52-1046/th.2012.06.020

馆 藏 号：203125749...