用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究

作     者：张威 梁勖 陶汝华 方晓东 Zhang Wei;Liang Xu;Tao Ruhua;Fang Xiaodong

作者机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽合肥230031 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2016年第45卷第1期

页      码：71-76页

摘      要：248 nm的Kr F准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算。该准分子激光器的重复频率为1~50 Hz,最高输出效率达2.0%,单脉冲输出能量最高达360 m J,当工作电压不低于24 k V时,激光输出能量不稳定度小于1.8%。用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅,并对刻写结果进行分析和讨论。

主 题 词：准分子激光器 气体配比 输出能量 输出效率 光纤布拉格光栅 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/irla201645.0105001

馆 藏 号：203125891...