SiC高温激活退火炉反应室的温场均匀性研究

作     者：周铁 吴永明 张毅 ZHOU Tie;WU Yongming;ZHANG Yi

作者机构：广东工业大学机电工程学院广东广州510006 

基　　金：产学研合作研发项目 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2024年第52卷第2期

页      码：181-186页

摘      要：SiC高温激活退火炉反应室的温度高、结构复杂,通工艺气体时易导致反应室内温度不均匀,影响产品质量。为获得高均匀温场的反应室,根据退火炉的设备数据建立反应室的物理模型;基于固体和流体传热、表面对表面辐射传热模型等,应用COMSOL Multiphysics6.0系统构建退火炉反应室仿真模型。通过改变工艺管、衬管结构,优化加热器距离、气体流量、隔热屏高度等参数来模拟退火炉反应室的温度分布情况。仿真结果表明:将工艺管和衬管设计为嵌套结构,加热器距离为9 mm、流量为25 L/min、隔热屏高度为178 mm时,最大温差由340℃降至±4℃,反应室内温场均匀性达到最优。

主 题 词：退火反应室 高均匀温场 COMSOL Multiphysics6.0系统 仿真分析 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3881.2024.02.028

馆 藏 号：203125926...