高次凸非球面补偿检验方法研究

作     者：陈光宇 胡明勇 杨传龙 封志伟 徐剑锋 白茜 崔金龙 CHEN Guangyu;HU Min gyong;YANG Chuanlong;FENG Zhiwei;XU Jianfeng;BAI Qian;CUI Jinlong

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥230009 合肥工业大学光电技术研究院安徽合肥230009 

出 版 物：《量子电子学报》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)

年 卷 期：2024年第41卷第1期

页      码：57-66页

摘      要：高次凸非球面镜是光学系统中至关重要的元件,通常作为次镜来补偿光学系统的轴外像差,但其检验方法一直是一大难点。基于背向零位检测方法,提出利用三透镜与单折射面组合的形式来补偿高次非球面的法线像差。首先选取高次非球面的二次比较面来简化计算,基于三级像差理论求解系统的初始结构,对高次非球面的法线像差进行补偿,使用ZEMAX软件仿真与优化后,设计结果完全满足要求。随后结合一块有效通光口径为170 mm、顶点曲率半径为266.8 mm的高次凸非球面反射镜,测得镜面的面形精度均方根为0.019λ(λ=632.8 nm),满足实际检测要求,验证了所提设计方法的可行性。此方法为大口径高次凸非球面的检验提供了一个新的思路。

主 题 词：几何光学 高次凸非球面 零位补偿 三级像差 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-5461.2024.01.005

馆 藏 号：203125941...