波长可调谐氮化硅外腔半导体激光器

作     者：陈怡茗 丛庆宇 贾连希 邱阳 赵兴岩 郑少南 董渊 钟其泽 胡挺 Chen Yiming;Cong Qingyu;Jia Lianxi;Qiu Yang;Zhao Xingyan;Zheng Shaonan;Dong Yuan;Zhong Qize;Hu Ting

作者机构：上海大学微电子学院上海201800摘要波长可调谐外腔半导体激光器在片上全光通信和片上光子器件互连集成 

基　　金：国家自然科学基金(U23A20356 62205193 62204149) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2024年第51卷第13期

页      码：58-65页

摘      要：波长可调谐外腔半导体激光器在片上全光通信和片上光子器件互连集成中发挥着至关重要的作用。采用两个半径不同的微环谐振器和两种不同结构的马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种基于厚度为700 nm的氮化硅波导的外腔反射镜,并采用大马士革工艺制作了外腔反射镜。结合Ⅲ-Ⅴ族反射型半导体光放大器和可调谐氮化硅外腔反射镜,通过对移相器热电极电压、可调耦合器热电极电压和微环谐振器热电极电压等参数进行调节,获得了最大调谐范围为55 nm、边模抑制比超过40 dB的外腔半导体激光器。

主 题 词：激光器 外腔半导体激光器 微环谐振器 马赫-曾德尔干涉仪 大马士革工艺 

学科分类：080903[080903] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL240429

馆 藏 号：203126092...