某涂布设备微振动控制基础结构的优化设计

作     者：左汉文 陈骝 杜浦 ZUO Hanwen;CHEN Liu;DU Pu

作者机构：中国电子工程设计院股份有限公司北京100840 广州大学土木工程学院广州510006 

基　　金：国家重点研发计划资助项目(2018YFC0705701) 

出 版 物：《振动．测试与诊断》 (Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis)

年 卷 期：2024年第44卷第1期

页      码：172-177,205页

摘      要：针对电子厂房内涂布设备结构楼板的微振动控制问题,提出了设备安置处楼板动刚度精细化控制方法。首先,对已建厂房内涂布设备所在基础楼板的振动速度响应及动刚度进行实测分析,确定设备满足其容许振动标准条件下的楼板需求动刚度;其次,建立楼板结构动力有限元模型,研究模型结构尺寸与动刚度计算值的差异;最后,通过计算获得满足涂布设备容许振动标准的楼板结构设计尺寸,并进行了工程验证。研究结果表明,涂布设备运行状态下1/3倍频程最大振动速度幅值对应的中心频率点为40 Hz或50 Hz,且在35.5~44.7 Hz频率范围对楼板需求动刚度要求最高。

主 题 词：电子厂房 涂布设备 楼板结构 振动速度 动刚度 

学科分类：12[管理学] 083002[083002] 1204[管理学-公共管理类] 0830[工学-生物工程类] 120402[120402] 08[工学] 080104[080104] 0837[0837] 0815[工学-矿业类] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16450/j.cnki.issn.1004‑6801.2024.01.026

馆 藏 号：203126113...