典型MEMS器件结构优化设计平台

作     者：善盈盈 卢德林 SHAN Ying-ying;LU De-lin

作者机构：浙江机电职业技术学院机械工程系浙江杭州310053 浙江省机械工业情报研究所浙江杭州310014 

出 版 物：《轻工机械》 (Light Industry Machinery)

年 卷 期：2012年第30卷第3期

页      码：88-91,96页

摘      要：设计一种适用于典型MEMS器件结构优化设计的通用平台系统MEMS Platform(简称MP)。该平台采用了柔性模块的设计理念,将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输出等5个独立功能单元,解决了典型MEMS器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等问题,具有较好的实际应用及再开发价值。

主 题 词：MEMS器件 柔性模块 设计平台 结构优化 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2895.2012.03.024

馆 藏 号：203126135...