大口径非球面反射镜零位补偿器误差标定方法

作     者：徐秋云 孔令臣 Xu Qiuyun;Kong Lingchen

作者机构：常州工学院光电工程学院江苏常州213032 

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金项目(11603052) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年第61卷第4期

页      码：335-340页

摘      要：非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜,首先设计反射式CGH,运用光线追迹法得到CGH的相位函数,使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同,再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性,并根据相位函数加工出主全息。在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明,所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜,所提方法仍然适用,因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。

主 题 词：零位补偿器 干涉检测 计算全息片 相位函数 光线追迹 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 070401[070401] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP232075

馆 藏 号：203126584...