基于DMAIC改进模型的电气柜散热能力优化分析

作     者：范佳伟 吴萍森 FAN Jiawei;WU Pingsen

作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201210 

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2024年第41卷第2期

页      码：63-65页

摘      要：阐述半导体设备电气柜的散热能力决定设备电气性能,提出基于DMAIC改进模型的散热方案优化过程。仿真和实测结果表明,通过规范设计流程,量化试验指标,优化后的电气柜散热能力提升显著,从而提升机台的产能。

主 题 词：集成电路制造设备 电气柜 散热能力 DMAIC改进模型 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19339/j.issn.1674-2583.2024.02.021

馆 藏 号：203126711...