GaAs基高性能MEMS微波功率检测芯片

作     者：朱越 王德波 ZHU Yue;WANG Debo

作者机构：南京邮电大学集成电路科学与工程学院南京210023 

基　　金：国家自然科学青年基金资助项目(61704086) 中国博士后科学基金资助项目(2017M621692) 江苏省博士后基金资助项目(1701131B) 南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2024年第54卷第1期

页      码：134-140页

摘      要：为了提高电容式MEMS微波功率检测芯片的性能,设计了一种GaAs基高性能MEMS微波功率传感芯片。通过建立双导固支梁电容模型,分析了传感芯片的传输特性、过载功率与灵敏度特性。在双导固支梁电容模型中提出了平行极板的两个等效条件;同时提出了一种新的梁宽等效方式,解决了双梁结构等效梁宽的失配问题,减小了模型的相对误差。双导固支梁电容模型很好地解释了导向梁的厚长比与初始高度对传感器过载功率和灵敏度的影响。测试结果表明,双导固支梁MEMS微波功率传感芯片在200 mW输入功率内的灵敏度为14.3 fF/W,而灵敏度的理论值为13.5 fF/W,两者的相对误差仅5.6%。因此,该理论模型对固支梁MEMS微波功率传感芯片的设计具有一定的借鉴意义。

主 题 词：MEMS 功率检测芯片 固支梁 双梁 等效梁宽 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.230287

馆 藏 号：203126991...