双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列的设计与制作

作     者：董凤良 潘亮 张青川 伍小平 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖 DONG Feng-liang;PAN Liang;ZHANG Qing-chuan;WU Xiao-ping;CHEN Da-peng;WANG Wei-bing;GUO Zhe-ying

作者机构：中国科学技术大学、中科院材料力学行为和设计重点实验室合肥230037 中科院微电子研究所北京100029 

基　　金：本项目是在自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)的支持下完成的 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2005年第20卷第B12期

页      码：35-42页

摘      要：本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——微悬臂梁阵列的设计和制作，它是SiNx／Au双材料单层膜结构，简化制作工艺、可以直接在空气中成像。实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD，得到120℃以上的物体热像，噪声等效温度差（NETD）为5K左右，实验结果与热机械模型预测结果一致。

主 题 词：非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-4888.2005.z1.006

馆 藏 号：203127005...