浮栅器件栅耦合系数修正的探讨

作     者：刘晶 黄其煜 詹奕鹏 LIU Jing;HUANG Qi-yu;ZHAN Yi-peng

作者机构：上海交通大学微电子学院上海200030 中芯国际集成电路制造有限公司技术发展中心上海201203 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2007年第32卷第9期

页      码：761-764页

摘      要：提取浮栅器件栅耦合率的方法一般都是针对不可忽略的沟道耦合现象进行修正。对这些方法进行了比较、分析发现,对于短沟道浮栅器件,会由于参考器件存在明显的DIBL/SIBL效应,使提取的源、漏耦合系数偏大产生了很大的误差。提出了一种对亚阈值斜率法提取浮栅器件栅耦合系数的修正方法,结合了DIBL/SIBL效应因子,基于亚阈值斜率之比来较简单地实现更精确的近似,得到的栅耦合系数与设计值吻合较好,误差在2%以内,表明此修正法是合理且精确的。

主 题 词：浮栅 栅耦合 亚阈值斜率 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2007.09.007

馆 藏 号：203127048...