用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究

作     者：王晓晔 薛实福 李庆祥 徐毓娴 白立芬 于水 

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：1998年第6卷第1期

页      码：36-41页

摘      要：应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。

主 题 词：有限元 原子力显微镜 力传感器 结构优化 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203127094...