六自由度磁浮微动台电磁场建模与计算

作     者：李广 张鸣 朱煜 段广洪 Masayoshi Tomizuka 

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室中国北京100084 加州大学伯克利分校机械工程系美国伯克利94720 

基　　金：国家“八六三”高技术项目(2009AA04Z148) 国家“九七三”重点基础研究发展计划项目(2009CB724205) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2010年第50卷第12期

页      码：1978-1982页

摘      要：为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明:该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。

主 题 词：微动台 电磁场计算 温升 光刻机 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2010.12.007

馆 藏 号：203127188...