铁电材料介电常数的测量方法研究

作     者：谭飚 Tan Biao

作者机构：宁波工程学院电子与信息工程学院浙江宁波315016 

基　　金：浙江省自然科学基金项目(Y1090035) 浙江省教育厅科技项目(Y201120012) 宁波市自然科学基金项目(2011A610182) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2012年第37卷第5期

页      码：399-402页

摘      要：描述了一种基于同轴谐振腔技术测量铁电材料介电常数的原理和方法。将待测样品放置在1/4波长的同轴谐振腔的开路端,通过设计制作尺寸合适的同轴谐振腔以保证在测量频率范围内只存在横向电磁场(TEM)基波,并根据测量的同轴谐振腔TEM基波的谐振频率,计算出相应的样品介电常数以及介电常数随电压的变化。为了精确采样待测样品和同轴谐振腔开路端之间部分所形成的等效电容,分析了电容边缘效应并结合边界元数值算法计算该等效电容。针对主要误差来源(气膜),采用在样品上用导电胶制作电极从而减小气膜对测量的误差影响。实验结果表明这是一种简便而有效的测量铁电材料介电常数的方法。

主 题 词：铁电材料 介电常数 同轴谐振腔 横向电磁场基波 边界元方法 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353x.2012.05.016

馆 藏 号：203127255...