硅片甩干机之旋转架设计中受迫振动问题

作     者：刘勇 

作者机构：峨眉半导体材料厂所峨眉山市614200 

出 版 物：《四川有色金属》 (Sichuan Nonferrous Metals)

年 卷 期：2000年第3期

页      码：37-40,46页

摘      要：本文论述了由不平衡离心惯性力引起甩干机旋转架受迫振动，并提出了设计中如何采取相应解决措施。

主 题 词：硅片甩干机 受通振动 旋转架设计 偏心质量 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

馆 藏 号：203127276...