一种双工位NEG吸气性能测试装置设计

作     者：戎振华 成永军 陈联 孙雯君 董猛 周超 冯天佑 马占吉 RONG Zhenhua;CHENG Yongjun;CHEN Lian;SUN Wenjun;DONG Meng;ZHOU Chao;FENG Tianyou;MA Zhanji

作者机构：兰州空间技术物理研究所兰州730000 

基　　金：国家自然科学基金项目(61901203) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年第44卷第3期

页      码：243-251页

摘      要：文章设计了可选择定压法或定容法测量非蒸散型吸气剂(NEG)吸气性能的测试装置,装置设计有两个结构对称的测试工位,可同时对两个测试样品进行预处理和性能测试,装置结构设计合理紧凑,测试效率高。测试装置可直接通过软件输出吸气速率和吸气量等性能参数。测试结果表明该装置本底真空度高,其中样品室真空度优于1×10^(−7) Pa,漏放气速率小于3×10^(−7) Pa·L/s;测试数据精度高且可靠,其中吸气速率测量精度达1 mL/s,吸气量测量精度达1 Pa·mL。

主 题 词：双工位 定压法 定容法 吸气性能 小孔流导 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202310007

馆 藏 号：203127314...