MPCVD法生长曲面多晶金刚石薄膜研究

作     者：许坤 吕思远 

作者机构：郑州航空工业管理学院河南郑州450000 

基　　金：河南省高等学校重点科研项目基础专项项目(项目编号:22ZX012) 河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(项目编号:212102210271) 河南省高等学校重点科研项目(项目编号:21B140010) 河南省高校科技创新团队项目(项目编号:22IRTSTHN004) 航空科学基金项目(项目编号:ASFC-2019ZF055002) 

出 版 物：《冶金与材料》 (Metallurgy and Materials)

年 卷 期：2024年第44卷第3期

页      码：1-3页

摘      要：金刚石振膜具有高保真、声传播速率快、弹性模量高、声阻尼特性好、优异的高频响应特性,是高保真扬声器高音单元喇叭膜的理想材料。目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长单晶金刚石以及平面多晶金刚石薄膜技术都较为成熟,实现了规模化生产,但是对于曲面多晶金刚石薄膜的研究鲜有报道。利用现有MPCVD设备生长曲面金刚石薄膜,由于等离子体火球在曲面周围分布不均匀,存在曲面膜厚度不均、内应力大、脱模困难等问题。文章根据曲面膜生长的要求,设计谐振腔尺寸及结构并利用有限元设计分析软件进行仿真分析,使等离子体火球均匀分布在曲面基底表面。并制作了相应的MPCVD设备进行曲面多晶金刚石薄膜的生长。最终获得厚度40μm、直径25.7mm、球面半径为25mm的多晶金刚石曲面膜。拉曼测试结果显示,薄膜为质量较好的多晶金刚石。

主 题 词：微波等离子体化学气相沉积 谐振腔 有限元分析 曲面多晶金刚石薄膜 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-5183.2024.03.002

馆 藏 号：203127372...