非接触间隙检测

作     者：贾亚飞 蒲继祖 张云鹏 JIAYafei;PUJizu;ZHANGYunpeng

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2014年第43卷第11期

页      码：33-35页

摘      要：基于光的分振幅干涉原理,用激光做光源,自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置,通过实际运用,达到理想效果。

主 题 词：非接触 光的干涉 间隙检测 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2014.11.008

馆 藏 号：203127446...