低频小型化兰姆波谐振器的研究

作     者：叶昶裕 肖强 陈正林 董加和 米佳 鲍景富 YE Changyu;XIAO Qiang;CHEN Zhenglin;DONG Jiahe;MI Jia;BAO Jingfu

作者机构：电子科技大学集成电路科学与工程学院四川成都611731 中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(U1430102) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第2期

页      码：174-178,183页

摘      要：针对低频声学器件的小型化、大带宽问题,该文基于Y切-铌酸锂压电薄膜激发了反对称A0兰姆波模式,并采用有限元法对A0模式进行了结构设计与理论分析。研究了铌酸锂切型、电极材料、金属化比及膜层厚度变化对声速和机电耦合系数等性能的影响。结果表明,特定结构下,与常规声表面波相比,A0模式兰姆波声速较小,机电耦合系数较大,有利于低频声学滤波器小型化设计。通过研究不同结构对谐振器A0模式兰姆波的横向模态的影响,实现了杂波抑制。

主 题 词：低频小型化 谐振器 兰姆波 铌酸锂 横向模态抑制 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.02.007

馆 藏 号：203127472...