曲面硅电极五轴精密磨削工艺研究

作     者：卢震 程俊兰 LU Zhen;CHENG Junlan

作者机构：北京精雕科技集团有限公司北京102308 北华航天工业学院河北廊坊065000 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2024年第52卷第7期

页      码：93-97页

摘      要：近两年出现了新型刻蚀技术,将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常高,其生产都是在国外进行,具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件,提出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案,使用五轴编程软件进行编程,采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴磨削中心,对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明:此项加工技术可提高加工效率和产品良率,并减少后续的研磨抛光时间,降低了生产成本。

主 题 词：曲面硅电极 精密磨削 机内自动化 数字仿真 工艺研究 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3881.2024.07.014

馆 藏 号：203127490...