基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究

作     者：阴怡媛 李得天 张虎忠 马卓娅 习振华 李刚 张开旭 宋云见 YIN Yiyuan;LI Detian;ZHANG Huzhong;MA Zhuoya;XI Zhenhua;LI Gang;ZHANG Kaixu;SONG Yunjian

作者机构：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000 

基　　金：国家自然科学基金项目(62171208) 国家重点研发计划项目(2023YFF0717200) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年第44卷第4期

页      码：312-317页

摘      要：文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1)的范围内波动,与仿真灵敏度0.250 Pa^(-1)的偏差最大为20%,灵敏度波动小于5.96%,证明该结构设计合理,有望应用于超高真空校准及精确测量领域。

主 题 词：碳纳米管电子源 电离真空计 灵敏度 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202402009

馆 藏 号：203127503...