MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制

作     者：宫占江 孙立凯 宋尔冬 邵志强 陈亚洲 GONG Zhanjiang;SUN Likai;SONG Erdong;SHAO Zhiqiang;CHEN Yazhou

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2024年第43卷第5期

页      码：58-61页

摘      要：本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器。该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁-中心质量块MEMS元件和永磁铁。采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号。通过对磁电耦合材料、MEMS元件和信号处理电路进行设计,使矢量水声传感器在工作时具有很高的灵敏度。通过声学灌封完成矢量水声传感器的制备,并对矢量水声传感器的性能进行了测试,测试结果表明:该矢量水声传感器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa)。

主 题 词：磁电耦合 微机电系统 灵敏度 矢量水声传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2024)05-0058-04

馆 藏 号：203127536...