某电子洁净厂房超纯水方案设计

作     者：赵立德 屈红超 Zhao Lide

作者机构：中国电子系统工程第四建设有限公司北京100070 

出 版 物：《水务世界》 (Water Field)

年 卷 期：2024年第2期

页      码：65-68页

摘      要：在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子洁净厂房设计时,工艺设备通常需要超纯水(18.2MQ·cm)进行清洗,本文通过超纯水系统方案设计、供水管路系统、纯水管材选择等的介绍,以期为超纯水系统设计提供参考。

主 题 词：电子洁净厂房 超纯水 半导体 

学科分类：0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 020205[020205] 

馆 藏 号：203127565...