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ITO靶材用高纯纳米二氧化锡制备研究

ITO靶材用高纯纳米二氧化锡制备研究

作     者:唐祥俊 樊繁 赵明勇 徐灿辉 梁国来 

作者机构:柳州华锡有色设计研究院有限责任公司广西柳州545616 

出 版 物:《新疆有色金属》 (XINJIANG YOUSE JINSHU)

年 卷 期:2024年第47卷第3期

页      码:47-48页

摘      要:以SnCl_(4)·5H_(2)O为原料,用尿素沉淀法制备了高纯纳米SnO_(2)粉体。研究了尿素用量、中和反应温度、煅烧温度、洗涤次数等对粉体粒径和纯度的影响,优化纳米SnO_(2)粉体制备工艺,并通过SEM、BET、ICP等技术对SnO_(2)粉体进行粒径、纯度等性能表征。结果表明所制备的纳米SnO_(2)粉体平均粒径在20~30 nm之间,粒径分布均匀,纯度在99.99%以上,符合ITO靶材用高纯纳米SnO_(2)粉体的粒径分布和纯度要求。

主 题 词:纳米SnO_(2) 尿素沉淀法 ITO 

学科分类:081702[081702] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D O I:10.16206/j.cnki.65-1136/tg.2024.03.021

馆 藏 号:203127780...

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