高能激光光束质量β因子测量方法

作     者：阴万宏 董再天 张云龙 王文涛 刘磊 陈豪远 段园园 吴磊 黎高平 于东钰 吴沛 俞兵 孙鹏程 YIN Wanhong;DONG Zaitian;ZHANG Yunlong;WANG Wentao;LIU Lei;CHEN Haoyuan;DUAN Yuanyuan;WU Lei;LI Gaoping;YU Dongyu;WU Pei;YU Bing;SUN Pengcheng

作者机构：西安应用光学研究所、国防科技工业光学一级计量站陕西西安710065 中国电子科技集团公司第十一研究所、固体激光技术重点实验室北京100020 

基　　金：国防计量技术基础科研项目(JSJL2020208A003) 国防重点预先研究项目(JZX7Y20221183000007) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2024年第45卷第3期

页      码：537-542页

摘      要：高能激光光束质量β因子测量装置主要用于强激光系统状态调试和综合性能参数诊断,用于评价激光系统出光性能以及远场光斑可聚焦的能力。针对接近衍射极限光束质量β因子测量过程中被测光斑在面阵相机上所占的像素点太少等缺陷,研究了采用聚焦显微放大与高精度扫描狭缝相结合的光束质量β因子测量方法,并对相关方案进行了分析计算。此外还设计了采用固定像差元件及平行光管光源组合的激光光束质量β因子测量结果验证方案,对研制的高能激光光束质量β因子测量装置进行了不确定度分析,测量不确定度优于10%。

主 题 词：高能激光 β因子 测量方法 显微放大 扫描狭缝 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202445.0310007

馆 藏 号：203127957...