高重频飞秒激光高效加工太赫兹滤波器核心结构

作     者：何煦 杨昊 马云灿 李军 蒋均 孟立民 叶雁 HE Xu;YANG Hao;MA Yuncan;LI Jun;JIANG Jun;MENG Limin;YE Yan

作者机构：中国工程物理研究院流体物理研究所四川绵阳621900 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 中国工程物理研究院微系统与太赫兹中心四川成都610299 

基　　金：中国工程物理研究院流体物理研究所横向项目(20-163-02-ZT-004-005-01) 冲击波物理与爆轰物理重点实验室基金(2021JCJQLB05707) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2024年第45卷第3期

页      码：514-521页

摘      要：高频太赫兹滤波器的核心结构具备跨尺度、大去除量、高精度等特点,为实现核心结构高效精密加工,加工技术的选择尤为重要。与常见的机械加工、光刻工艺、MEMS等技术相比,飞秒激光加工技术具有材料普适性强、流程简单、可实现薄壁结构精密加工等优点。以中心频率850 GHz的太赫兹滤波器核心结构设计为输入,利用飞秒激光加工技术开展太赫兹滤波器核心结构的加工实验研究。考虑到低重频飞秒激光不满足高效加工的实际要求,选择高重频飞秒激光作为加工光源,在加工策略精准设计和加工参数精准优化的条件下,实现了高频太赫兹滤波器核心结构的高效精密加工。研究结果表明,高重频飞秒激光加工的太赫兹滤波器,其中心频率测试值与设计值接近。因此,高重频飞秒激光加工技术成为太赫兹滤波器核心结构加工的可选手段。

主 题 词：太赫兹滤波器 核心结构 飞秒激光 精密加工 加工策略 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202445.0310004

馆 藏 号：203127958...