激光测头光束质量分析与控制

作     者：曾茜逾 曹益平 周力萍 Zeng Xiyu;Cao Yiping;Zhou Liping

作者机构：四川大学光电科学技术系成都610064 

基　　金：国家高技术发展计划项目 四川省科技攻关项目(2006Z01-028) 四川省学术和技术带头人培养基金项目(07GRC-01) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2009年第21卷第1期

页      码：20-24页

摘      要：建立了光束质量控制的数学模型,提出了一种可定量评价光束质量的参数优化选择方法。针对激光测头进行了两片式光束质量控制光学系统的优化设计,并与光束聚焦控制、准直控制方法进行对比实验。激光结果证明:该优化光束控制系统在测量范围内既保持了光束的均匀性,光斑尺寸较小(光腰尺寸为34μm),又保证了光束的精细度,有效地抑制了光束质量引入的测量误差,在±5 mm测量范围内,其均方根误差仅为6.3μm,测量精度明显优于聚焦控制和准直控制系统。

主 题 词：光束质量控制 激光三角法 激光测头 高斯光束 位置敏感传感器 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203127963...