基于ANSYS的物理气相沉积真空装置力学分析

作     者：宋涛 张柏诚 许忠政 王春雷 张黎源 SONG Tao;ZHANG Baicheng;XU Zhongzheng;WANG Chunlei;ZHANG Liyuan

作者机构：核工业理化工程研究院激光技术研究所天津300181 

出 版 物：《机械工程师》 (Mechanical Engineer)

年 卷 期：2024年第6期

页      码：146-148,152页

摘      要：PVD用真空装置是实现真空镀膜试验的重要设备,必须保证真空装置在实际工况和载荷的作用下十分安全可靠,不发生破损事故。文中采用ANSYS软件对真空装置建模、划分网格、确定边界,并施加实际载荷、地震载荷,计算在设计工况、正常工况、异常工况及事故工况下的应力值。采用计算值对原有的设计进行了修正,将壁厚从原始设计14 mm改为10 mm,节省了9%的不锈钢材料。修改后的设计方案仍可满足RCC-M规范要求。

主 题 词：真空装置 力学分析 ANSYS仿真 物理气相沉积 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203128127...