CCD/EMCCD光电参数测试系统的设计与应用

作     者：沈吉 VIACHESLAV V.Zabudsky 常维静 那启跃 简云飞 OLEG V.Rikhalsky OLEKSANDR G.Golenkov VOLODYMYR P.Reva SHEN Ji;VIACHESLAV V.Zabudsky;CHANG Wei-jing;NA Qi-yue;JIAN Yun-fei;OLEG V.Rikhalsky;OLEKSANDR G.Golenkov;VOLODYMYR P.Reva

作者机构：华东光电集成器件研究所江苏苏州215263 乌克兰科学院V.E.Lashkaryov半导体物理研究所乌克兰基辅01001 乌克兰科学院Bogomoletz生理学研究所乌克兰基辅01001 

基　　金：科技创新2030-“新一代人工智能”重大项目(No.2018AAA0103100) 

出 版 物：《中国光学（中英文）》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2024年第17卷第3期

页      码：693-703页

摘      要：本文开发了一种用于测量CCD和EMCCD(电子倍增CCD)芯片光电参数的测试系统。该测试系统通过自动模式或手动模式间的切换,测量器件的暗电流、读出放大器的响应度、电荷转移效率、电荷容量和其他参数。该测试系统可以针对不同规格和结构的CCD/EMCCD器件,实现CCD晶圆或封装好的成品的参数测试,实现576×288、640×512、768×576、1024×1024、1280×1024 CCD/EMCCD的测试和筛选。

主 题 词：CCD EMCCD 测试系统 光电参数 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.37188/CO.EN-2023-0016

馆 藏 号：203128137...