标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究

作     者：朱冠卿 邹鹏飞 毕海林 王旭迪 谢斌平 董金奎 曹青 ZHU Guanqing;ZOU Pengfei;BI Hailin;WANG Xudi;XIE Binping;DONG Jinkui;CAO Qing

作者机构：合肥工业大学机械工程学院合肥230009 费勉仪器科技(上海)有限公司上海201906 

基　　金：国家重点研发计划项目(2023YFF0717200) 国家自然科学基金青年基金项目(62101172) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年第44卷第5期

页      码：394-400页

摘      要：目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹,实验测试得到了MMG在−500~−2500 V电压下10^(−4)~10^(−7)mbar之间的电流与真空度关系曲线,选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度,将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10^(−4)到10^(−7)mbar范围真空度的测量。

主 题 词：真空测量 磁控管真空计 微型化 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202312019

馆 藏 号：203128200...