运动台结构刚度及接触形式动态性能优化

作     者：杨师 王月鹏 李龙飞 赵宏宇 陈沿宇 YANG Shi;WANG Yuepeng;LI Longfei;ZHAO Yongjin;CHEN Yanyu

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2024年第53卷第3期

页      码：64-67页

摘      要：介绍了运动台结构刚度优化的目的与思路,根据仿真结果对几种结构优化形式的预期效果进行判断,并结合整机需求完成定型及设计结果测试,通过实践闭环了仿真模型;根据运动台断开与连接整机重复性需求,设计改型了运动台与整机接触形式,并通过机械加速度传递函数测试进行了验证,保证了幅值裕度与相位裕度在较小范围内时,同样实现稳定控制。

主 题 词：精密设备 刚度 振动控制 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2024.03.014

馆 藏 号：203128206...