基于计算全息图的大口径长焦距离轴抛物面反射镜测量

作     者：胡晨 魏朝阳 万嵩林 江国昌 顾昊金 邵建达 Hu Chen;Wei Chaoyang;Wan Songlin;Jiang Guochang;Gu Haojin;Shao Jianda

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心上海201800 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光材料重点实验室上海201800 中国科学院大学材料科学与光电子工程中心北京100049 

基　　金：国家自然科学基金青年基金(62205352) 国家重点研发计划(2020YFA070304) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2024年第51卷第11期

页      码：526-536页

摘      要：随着激光脉冲宽度极限的不断突破以及峰值功率的不断提高,脉宽压缩光栅的尺寸需要进一步增大。但反射式曝光系统所需大口径长焦距离轴镜的高精度加工检测成为制约大口径光栅制作的难题。采用计算全息补偿检测不需要复杂的设计和装调,但同样会引入非回转对称和复杂的二维投影畸变。传统的畸变校正方法由于精度受限或计算复杂不利于工程应用。提出基于数值计算的畸变校正方法,该方法具有简单通用易于编程的优点。利用800 mm口径折反镜在直径为18 m光学平台上搭建了面形检测光路,通过系统误差标定去除以及畸变校正的方法实现了高精度面形测量,经磁流变迭代加工后,面形精度RMS可收敛至0.013λ(λ=632.8 nm),这为后续大口径反射式曝光系统的建立奠定了基础。

主 题 词：离轴抛物面镜 计算全息图 误差标定 投影畸变校正 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0812[工学-测绘类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL230567

馆 藏 号：203128382...