基于Au/In键合的静电扭转微镜的设计与工艺研究

作     者：王俊铎 胡钰玮 吴永强 单亚蒙 钱磊 沈文江 WANG Junduo;HU Yuwei;WU Yongqiang;SHAN Yameng;QIAN Lei;SHEN Wenjiang

作者机构：中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏苏州215123 西安交通大学机械学院西安710048 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2024年第44卷第3期

页      码：252-257页

摘      要：采用Au/In键合技术并引入凸点层设计,制备了用于光通信领域的二维平行板式静电扭转微镜阵列。相较于其他键合技术,Au/In键合实现了低温键合并与硅通孔技术相容。此外,相对于梳齿驱动,采用平行板电容的扭转微镜有助于实现更高的占空比,便于阵列制造。凸点层的设计提升了键合强度,平均键合强度达8.97 MPa。微镜的实测结果与有限元仿真基本一致,内、外轴分别在13.7 V和18.2 V的直流电压下实现了0.7°的机械转角。

主 题 词：微镜 Au/In键合 平行板静电驱动 微机电系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.12450/j.gtdzx.202403012

馆 藏 号：203128395...