一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法

作     者：胡维 张大成 贺学锋 Hu Wei;Zhang Dacheng;He Xuefeng

作者机构：北京大学北京100871 北京大学北京100871 北京大学北京100871 

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404220) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：424-427页

摘      要：在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa.

主 题 词：MEMS 弹性模量 双支梁 台阶仪 TN407 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.152

馆 藏 号：203128427...