JGD提拉单晶炉晶体模型的数字化

作     者：陈川贵 丁雨憧 龙勇 何晔 吴昊 岑伟 李青蔚 CHEN Chuangui;DING Yuchong;LONG Yong;HE Ye;WU Hao;CEN Wei;LI Qingwei

作者机构：中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆401332 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第3期

页      码：333-338页

摘      要：中国电科芯片研究院生产的JGD提拉单晶炉是一种上称重自动直径控制激光单晶炉,它实现了提拉法晶体全自动智能生长控制。利用JGD提拉单晶炉控制软件建立提拉法晶体数学模型,晶体生长全程以数学模型为标准,以晶体质量为控制量进行实时闭环反馈控制。该软件建立的晶体数学模型有四段式晶体数学模型和任意多段晶体数学模型两种形式。在设计放肩段时,四段式晶体数学模型充分体现了晶体籽晶段与放肩段、等径段三位一体平滑过渡的理念;而任意多段晶体数学模型在曲线设计上更加灵活多样,晶体数学模型设计更便捷。JGD提拉单晶炉控制软件晶体数学模型被广泛用于多种晶体生长过程,如InSb、YAG等晶体。晶体外形控制良好、品质优良。

主 题 词：自动化 晶体 温场 晶体数学模型 数字化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.03.010

馆 藏 号：203128431...