作为开环系统的高精度定位装置

作     者：叶庆泰 叶勇 陈劲松 朱正 

作者机构：上海交通大学机械工程系上海隧道工程设计院 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：1994年第2卷第3期

页      码：74-79页

摘      要：作者分析了闭环及开环控制系统各自的优缺点，提出了利用计算机高速大容量的特点进行离线检测、在线补偿的可能性，以及在实施过程中必须解决的关键问题。最后附有实测数据。该系统在２５ｍｍ行程中示值误差≤１μｍ、回程误差≤０．３μｍ、分辨率为０．１μｍ，结构简单、可靠、价格低廉。已获得专利。

主 题 词：定位装置 高精度 开环系统 自动检测系统 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

核心收录：

馆 藏 号：203128503...