一种集成超声传感器新结构

作     者：郑学仁 刘百勇 李斌 黎沛涛 

作者机构：华南理工大学应用物理系广州510641 香港大学电子与电机工程系 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：1998年第18卷第2期

页      码：126-130页

摘      要：设计了一种具有片上读出电路的集成超声传感器新结构，并用PI膜来垫高扩展栅电极。和典型POSFET结构相比，所制作样品的灵敏度提高14dB以上，带宽可达7MHz，满足超声传感器需要。

主 题 词：集成电路 超声传感器 聚苯氟乙烯膜 聚酰亚胺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203128654...