直接馈电微带缝环谐振器实现微波等离子体源

作     者：韩婷 廖斌 HAN Tang;LIAO Bin

作者机构：华东师范大学电子系上海200241 

出 版 物：《信息通信》 (Information & Communications)

年 卷 期：2009年第22卷第3期

页      码：8-10页

摘      要：设计一种基于直接馈电结构的微波缝环谐振器的小功率微波等离子体源。这种结构比之前提出的加入λ/4阻抗变换段的缝环谐振器结构更小型化,经过优化,可以实现更高的缝隙间电场,即在缝隙处更易实现气体放电,形成等离子体。

主 题 词：微带缝环谐振器 等离子体源 直接馈电 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-1131.2009.03.002

馆 藏 号：203128657...