纳米级二维激光外差干涉仪的设计

作     者：陈晓梅 曹航 周自力 亓爱会 

作者机构：长城计量测试技术研究所 

基　　金：国防科工委"九.五"攻关 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：1998年第25卷第1期

页      码：18-22页

摘      要：提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。

主 题 词：激光干涉仪 位移测量 纳米级技术 光学设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203128687...