Herriott型气体池的反射镜装配公差影响分析

作     者：周新雨 胡源 刘子龙 关禹聪 Zhou Xinyu;Hu Yuan;Liu Zilong;Guan Yucong

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130012 

基　　金：吉林省教育厅科技基金(JJKH20210814KJ) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2024年第44卷第13期

页      码：222-230页

摘      要：基于Herriott型气体池的基本原理以及ABCD矩阵的扩展矩阵,分析了对气体池参数产生影响的公差类型,建立了两反射镜间距、倾斜以及偏心公差的数学模型。最后,仿真分析了不同等效光程下,公差对出射光能量利用率的影响。所提出的数学模型和分析方法可用于任意单环Herriott型气体池,并且便于在实际气体池的设计中针对不同的等效光程给出合理的两镜间距、倾斜以及偏心公差的允许变动量,这对气体池的工程实现具有重要的理论意义。

主 题 词：Herriott型气体池 ABCD矩阵 数学模型 公差分析 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS240527

馆 藏 号：203128791...