干涉条纹密度的计算及其应用研究

作     者：莫卫东 傅振堂 张孟 张海防 范琦 冯明德 MO Wei-dong;FU Zhen-tang;ZHANG Meng;ZHANG Hai-fang;FAN Qi;FENG Ming-de

作者机构：空军工程大学理学院陕西西安710051 

基　　金：陕西省自然科学基金(2010JM8012)资助课题 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2013年第34卷第2期

页      码：273-278页

摘      要：采用光的干涉方法检测曲面光学表面的加工质量时,都需要事先设计好系统光路的最佳检测技术参数,并能对检测的难度进行有效的评估,从而确保检测的精度。该研究采用了一种计算干涉条纹密度的新方法,对任意光学曲面检测的难度进行评估,并用于确定球面参考光点光源的最佳位置。以非球面为例,计算了非球面的最接近球面的半径和最大非球面度以及非球面检测时球面参考光点光源的最佳位置,说明了计算干涉条纹密度方法在确定干涉检测系统光路调试最佳条件的优越性,可为各种干涉检测系统的设计以及优化调试过程提供理论依据和分析指导。

主 题 词：应用光学 干涉条纹密度 非球面 最接近球面 非球面度 

学科分类：080901[080901] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.5768/jao201334.0202006

馆 藏 号：203128824...