石英振梁加速度计谐振器的结构设计

作     者：冯丽爽 王文璞 周震 杨功流 

作者机构：北京航空航天大学"新型惯性仪表与导航系统技术"国防重点学科实验室北京100191 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室北京100191 

基　　金：国家自然科学基金(61171004) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2013年第21卷第1期

页      码：101-105页

摘      要：石英谐振器的设计是实现高精度石英振梁加速度计的关键。首先对石英晶体的最优切型切角结构进行研究,确定石英晶体的最优切型切角为(xyt)5°。其次,理论分析并通过仿真验证了石英谐振器的结构参数对石英振梁加速度计标度因数的影响,并对石英谐振器的结构参数进行了优化。最后,对石英谐振器进行了模态仿真,并分析了石英谐振器的尺寸制作偏差对标度因数的影响。用有限元分析方法得到了石英谐振器的理想振型,且石英振梁加速度计的标度因数为40 Hz/g。理论及仿真结果表明该石英谐振器可应用于高标度因数石英振梁加速度计中。

主 题 词：石英谐振器 振梁加速度计 制作偏差 有限元分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-6734.2013.01.024

馆 藏 号：203128824...