用于扩展SPM检测范围的精密定位系统

作     者：孙涛 董申 

作者机构：哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2001年第20卷第5期

页      码：669-672页

摘      要：本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统 ,进行了相关技术的研究并给出了设计参数。使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测 ,扩大了扫描探针显微镜 (SPM)

主 题 词：扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量 检测范围 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-6281.2001.05.027

馆 藏 号：203128886...