基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作

作     者：刘梦伟 佟建华 崔天宏 董维杰 崔岩 王兢 王立鼎 Liu Mengwei;Tong Jianhua;Cui Tianhong;Dong Weijie;Cui Yan;Wang Jing;Wang Liding

作者机构：大连理工大学116023大连 大连理工大学116023大连 明尼苏达大学明尼苏达美国 大连理工大学116023大连 大连理工大学116023大连 大连理工大学116023大连 大连理工大学116023大连 

基　　金：国家自然科学基金资助重大项目(90207003) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：467-468页

摘      要：设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.

主 题 词：PZT薄膜 压电 集成 微悬臂梁 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.168

馆 藏 号：203129961...