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0.5μm10级洁净室在工程中的应用研究

0.5μm10级洁净室在工程中的应用研究

作     者:罗荣忠 

作者机构:中国船舶工业总公司第九设计研究院 

出 版 物:《暖通空调》 (Heating Ventilating & Air Conditioning)

年 卷 期:1993年第22卷第6期

页      码:15-18页

摘      要:本文就国内一个按美国联邦标准209D 设计的高洁净度级别的洁净工程实例,介绍了其设计要点、超高效过滤器的研制、密封技术处理等问题,并给出了运行实测结果。

主 题 词:洁净室 设计 高效过滤器 

学科分类:08[工学] 081404[081404] 0814[工学-地质类] 

馆 藏 号:203130026...

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