一种用于压电驱动微动工作台的测控系统

作     者：吴才章 林伟 叶梅 叶虎年 WU Cai-zhang;LIN Wei;YE Mei;YE Hu-nian

作者机构：华中科技大学仪器系湖北武汉430074 

基　　金：国家自然科学基金项目非探针扫描近场光学显微成像方法基金资助项目(30170276) 光洁亚表面纳米结构探测基金资助项目(10176010) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2005年第27卷第4期

页      码：372-374,388页

摘      要：研究了压电陶瓷驱动器特有的迟滞和儒变特性,针对它的这些非线性特点,给出了一种有效消除这些非线性误差的闭环控制方案。采用高精度A/D和D/A转换芯片,设计了基于PC机并行增强口EPP协议的控制板。在自行设计高压驱动电路的基础上,研制出了用于纳米级定位的数字闭环控制器。测试结果表明,此控制器很好地克服压电陶瓷驱动器的非线性特性,系统定位精度优于10 nm。

主 题 词：压电陶瓷 微位移 迟滞 蠕变 EPP 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2005.04.011

馆 藏 号：203130055...