聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

作     者：孔庆峰 梁静秋 钟砚超 侯凤杰 李佳 孙德贵 KONG Qing-feng;LIANG Jing-qiu;ZHONG Yan-chao;HOU Feng-jie;LI Jia;SUN De-gu

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 

基　　金：国家自然科学基金资助(60578036) 中科院"优秀博士学位论文 院长奖获得者科研启动专项资金"资助 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第5A期

页      码：1735-1738,1743页

摘      要：利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.

主 题 词：光开关 电磁驱动 悬臂梁 聚酰亚胺 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.112

馆 藏 号：203130092...